山西光学薄膜射频离子源厂家

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【真空镀膜机电控柜的操作】1、玻璃真空镀膜机开水泵、气源2、开总电源3、开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。4、开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。5、观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子qiang电源。真空镀膜机厂家排名。山西光学薄膜射频离子源厂家

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【真空镀膜机清洗工艺之紫外线辐照清洗】利用紫外辐照来分解表面上的碳氢化合物。例如,在空气中照射15h就可产生清洁的玻璃表面。如果把适当预清洗的表面放在一个产生臭氧的紫外线源中.要不了几分钟就可以形成清洁表面(工艺清洁)。这表明臭氧的存在增加了清洁速率。其清洗机理是:在紫外线照射下,污物分子受激并离解,而臭氧的生成和存在产生高活性的原子态氧。受激的污物分子和由污物离解产生的自由基与原子态氧作用.形成较简单易挥发分子.如H203、CO2和N2.其反应速率随温度的增加而增加。山西光学镀膜射频离子源价格成都国泰真空镀膜机怎么样?

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【真空镀膜机检漏之气压检漏】气压检漏被检零部件内腔充以气体(一般为空气),充气压力的高低视零部件的强度而定,一般为(2~4)×105帕。充压后的零部件如发出明显的嘶嘶声,音响源处就是漏孔位置。用这种方法可检较小漏率为5帕·升/秒的漏孔。如不能用声音直接察觉漏孔,则用皂液涂于零部件可疑表面处,有气泡出现处便是漏孔位置。用这种方法较小可检漏率为5×10-3帕·升/秒的漏孔。此外,还可将充气的零部件浸在清净的水槽中,气泡形成处便是漏孔位置。用水槽显示漏孔,方便可靠,并能同时全部显示出漏孔位置。如气泡小、成泡速度均匀、气泡持续时间长,则为×10-2~13帕·升/秒漏率的漏孔。如气泡da、成泡持续时间短,则为13~103帕·升/秒漏率的漏孔。

【真空镀膜之磁控溅射】在阴极靶表面形成一正交电磁场,在此区电子密度高,进而提高离子密度,使得溅镀率提高(一个数量级),溅射速度可达0.1—1um/min膜层附着力较蒸镀佳,是目前实用的镀膜技术之一。其它有偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等镀膜技术溅镀机设备与工艺溅镀机由真空室,排气系统,溅射源和控制系统组成。溅射源又分为电源和溅射qiang(sputtergun)。磁控溅射qiang分为平面型和圆柱型,其中平面型分为矩型和圆型,靶材料利用率30-40%,圆柱型靶材料利用率>50%溅射电源分为:直流(DC)、射频(RF)、脉冲(pulse),直流:800-1000V(Max)导体用,须可灾弧。射频:13.56MHZ,非导体用。脉冲:泛用,新发展出真空镀膜机的工作原理和构成。

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本申请中涉及的一种射频离子源离子束束径控制装置具体包括一真空腔体5、控制器6以及设于真空腔体5中的离子束发生器7、束径约束器0和驱动器8,该束径约束器0即采用叶片2进行光阑3大小调整的束径约束器0,该束径约束器0设置在离子束发生器7前端,驱动器8与束径约束器0的驱动机构相连以控制驱动机构动作,控制器6分别与束径约束器0及驱动器8相连。本实施例中,真空腔体5的真空度×10-3pa以上,驱动器8为微型电机,离子束发生器7包括离子束发生器外壁71以及位于离子束发生器外壁71内并位于离子束前端的平面栅网72,控制器6为计算机,在计算机中编写matlab控制代码,通过代码程序执行,微型电机启动,并控制驱动机构动作,也即对伺服电机45进行控制,伺服电机45使用绝对式编码器进行定位,伺服电机45驱动齿轮44转动并通过齿圈43带动滑环41旋转,滑环41旋转时,通过导槽42带动叶片2绕固定轴23转动,从而使叶片2的尾端22相交组成的光阑3的孔径大小发生变化,也即实现离子束束径的调节,**后将光阑3的孔径大小信息反馈给计算机。束径约束器0采用附图中的设置方向时,滑环41顺时针旋转时,光阑3孔径减小,滑环41逆时针旋转时,光阑3孔径变大。成都真空镀膜机的生产厂家。北京离子束刻蚀射频离子源

射频离子源采用高频电场来加速和离子化气体分子,产生高能离子束。山西光学薄膜射频离子源厂家

【真空镀膜技术专业词汇】真空镀膜vacuumcoating:在处于真空下的基片上制取膜层的一种方法。基片substrate:膜层承受体。试验基片testingsubstrate:在镀膜开始、镀膜过程中或镀膜结束后用作测量和(或)试验的基片。镀膜材料coatingmaterial:用来制取膜层的原材料。蒸发材料evaporationmaterial:在真空蒸发中用来蒸发的镀膜材料。溅射材料sputteringmaterial:有真空溅射中用来溅射的镀膜材料。膜层材料(膜层材质)filmmaterial:组成膜层的材料。蒸发速率evaporationrate:在给定时间间隔内,蒸发出来的材料量,除以该时间间隔溅射速率sputteringrate:在给定时间间隔内,溅射出来的材料量,除以该时间间隔。沉积速率depositionrate:在给定时间间隔内,沉积在基片上的材料量,除以该时间间隔和基片表面积。镀膜角度coatingangle:入射到基片上的粒子方向与被镀表面法线之间的夹角。山西光学薄膜射频离子源厂家

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